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| 芝原　健太郎 (Kentaro Shibahara) site
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SiC半導体の研究業績紹介

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京都大学松波研究室で気相エピタキシャル結晶成長装置（CVD）を用いてSi基板の上にSiC結晶被膜を作ることを説明する芝原