Si基板上のSiCデバイス, IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS に掲載

 芝原健太郎が作成したSiCパワーデバイス(反転型SiC-MOSFET)は世界初の快挙です。1986年,シリコン(Si)基板上に作成されました。今日世界中で生産され、電気自動車・再生可能エネルギーなどに利用されているSiCパワーデバイスの先駆けです。 IEEE ELECTRON DEVICE LETTERSに掲載されました。 以下にabstract 2ページ全部を掲載します。( IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS December 1986, volume EDL-7, number 12 (ISSN 0741-3106) )

その後、芝原は黒田氏らとSiC基板上に「ステップ制御エピタキシー」技術も実現しました(1987年発表)。この技術で実用化されたSiCパワーデバイスが現在世界中で量産•利用されています。  

裏表紙にサインをしているところなど、世界初の快挙!を成し遂げた若き研究者の高揚感が伝わってきます。

表紙にアンダーラインを引いてしまいましたが、今日まで保管したので許してもらいましょう。

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