2005年 SSDM Award 受賞
1987年ステップ制御エピタキシーを実現し、2005 年に SSDM Award を受賞しました。
“Step-Controlled VPE Growth of SiC Single Crystals at Low Temperatures“ DOI: 10.7567/SSDM.1987.C-4-2





/
1987年ステップ制御エピタキシーを実現し、2005 年に SSDM Award を受賞しました。
“Step-Controlled VPE Growth of SiC Single Crystals at Low Temperatures“ DOI: 10.7567/SSDM.1987.C-4-2





/