6H-SiC基板上へのSiC薄膜結晶成長

動画目次

1. アチソン基板の斜め研磨方法
2. 成長の温度プロファイル
3. 境界層の反応種の輸送
4. 基板上での吸着、脱離
5. pn接合の電流電圧特性
6. 発行スペクトル
7. 青色発光機構

これらの内容が貴重な写真や図で説明されています。たいへん興味深い動画です。