Homohepiaxial growth of SiC Growth on 6H-SiC
動画目次
- アチソン基板の斜め研磨方法 0:36~
- 成長の温度プロファイル 2:55~
- 境界層の反応種の輸送 4:25~
- 基板上での吸着、脱離 4:47~
- pn接合の電流電圧特性 7:56~
- 発光スペクトル 8:07~
- 青色発光機構
これらの内容が貴重な写真や図で説明されています。たいへん興味深い動画です。
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「Si基板上β-SiCに関する諸話題」研究会資料:1986年4月30日 Technical Meeting Document: “Topics on β-SiC on Si Substrates”: April 30, 1986

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