受 賞

2005年　SSDM Award　受賞

1987年ステップ制御エピタキシーを実現し、2005 年に SSDM Award を受賞しました。

“Step-Controlled VPE Growth of SiC Single Crystals at Low Temperatures“ DOI: 10.7567/SSDM.1987.C-4-2

 「証言記録 ステップ制御エピタキシー — 黒田尚孝氏と芝原健太郎による実現–」



 「ステップ制御エピタキシー実現でSSDM賞を受賞」

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