ステップフロー成長– tag –

黒田尚孝氏寄稿ステップ制御エピタキシー1は、SiCパワーデバイス2実用化を可能にした画期的な技術として広く知られています。黒田氏と芝原が、京都大学松波弘之教授の研究室で、議論や実験を通じて、この技術をどのように実現したのか辿ります。 １．ステ...

1987年、芝原健太郎と黒田尚孝は京都大学・松波弘之研究室で、「ステップ制御エピタキシー（Step-Controlled Epitaxy）」を実現しました。黒田が実験を担当し、芝原は黒田を指導するとともに研究成果をまとめ、SSDMで発表しました。この成果により、芝原健...