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Homohepiaxial growth of SiC Growth on 6H-SiC 動画目次 アチソン基板の斜め研磨方法　 0:36～ 成長の温度プロファイル 　2:55～ 境界層の反応種の輸送 　4:25～ 基板上での吸着、脱離 　4:47～ pn接合の電流電圧特性　 7:56～ 発光スペクトル　 8:07～ ...