受 賞(Awards)

2005年 SSDM Award 受賞

1987年ステップ制御エピタキシーを実現し、2005 年に SSDM Award を受賞しました。

“Step-Controlled VPE Growth of SiC Single Crystals at Low Temperatures DOI: 10.7567/SSDM.1987.C-4-2

SSDM Award trophy

/