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Silicon Nanodevices
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学位論文
Dissertation
目 次 Table of Contents
序文・謝辞
1 はじめに INTRODUCTION
2 Si基板上への3C-SiCのCVD成長
3 オフ基板上の成長
4 成長層の電気的特性と不純物ドーピング
5 3C-SiC成長層へのイオン注入とMOSFETへの応用
6 6H-SiC(0001)上のCVD成長
7 結 論 CONCLUSIONS
8 研究業績・付録
8. List of Publications / Appendix
学会・社会活動
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受 賞
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半導体研究者の業績紹介サイト | 芝原 健太郎 (Kentaro Shibahara)site
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5 3C-SiC成長層へのイオン注入とMOSFETへの応用
6 6H-SiC(0001)上のCVD成長
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序文・謝辞 PREFACE/ACKNOWLEDGEMENTS
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→第1章
I.
INTRODUCTION
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