2 Si基板上への3C-SiCのCVD成長

II. CVD GROWTH OF 3C-SiC ON Si SUBSTRATES   主要部分を読みやすくしたファイルが上、全文は下のファイルです。

Reproduced Figures in Chapter 2
Fig. 23 — reproduced from Fig. 7 of:

K. Shibahara, S. Nishino, and H. Matsunami,
“Surface-morphology of cubic SiC(100) grown on Si(100) by chemical vapor deposition,”
J. Crystal Growth 78 (1986) 538–544.

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