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半導体研究者の業績紹介サイト | 芝原　健太郎 (Kentaro Shibahara)site
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5 3C-SiC成長層へのイオン注入とMOSFETへの応用

V. ION IMPLANTATION INTO 3C-SiC GROWN LAYERS AND APPLICATION TO MOSFET’S　

文と一部の図（他の図は準備中）

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